Источники плазмы
Исто́чники пла́змы — устройства, предназначенные для создания плазмы.
Создание плазмы требует по меньшей мере частичной ионизации нейтральных атомов и/или молекул среды. В технике, как правило, для создания плазмы используются те или иные виды газового разряда.
Источники плазмы высокого (от 1000 Па до атмосферного и, редко, выше) давления называют плазмотронами или плазменными горелками. В них, как правило, плазма образуется в специальной разрядной камере, сквозь которую продувается плазмообразующий газ. Наиболее часто используются дуговой или индукционный разряд. Для небольших мощностей (до нескольких кВт) распространены также СВЧ плазмотроны.
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/8/89/RF_plasma_source.jpg/220px-RF_plasma_source.jpg)
Источники плазмы для низких давлений не имеют общего названия и классифицируются по принципу действия:
- Дуговые:
- с холодным катодом;
- с накалённым катодом;
- двухступенчатые;
- На основе пучково-плазменного разряда, в частности, с полым катодом;
- Индуктивно-связанные:
- с катушкой в форме соленоида;
- с плоской катушкой;
- на основе геликонного разряда
- Ёмкостно-связанные[англ.]
- На основе сверхвысокочастотного разряда, в том числе с использованием:
- На основе разряда в скрещенных полях:
- источники Холла;
- источники с анодным слоем.
Источники плазмы имеют множество применений, в частности источники света и плазменная обработка материалов.
См. также
[править | править код]Литература
[править | править код]- Popov O.A. High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance. — Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA: Noyes Publications, 1995.
- Габович М. Д. Плазменные источники ионов. — Киев: Наукова думка, 1964. — 224 с.
- Жуков М.Ф. Электродуговые нагреватели газа (плазмотроны). — М.: Наука, 1973. — 232 с.
- Барченко В.Т. Технологические вакуумно-дуговые источники плазмы. — СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2013. — 242 с. — ISBN 978-5-7629-1366-9.
- Аксенов И. И. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. — Киев: Наукова думка, 2012. — 727 с.
- Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. — М.: Высш. шк., 1988. — 255 с. — ISBN 5-06-001480-0.
- Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии. — М.: Машиностроение, 1989. — 56 с. — ISBN 5-217-00726-5.
![]() | В статье не хватает ссылок на источники (см. рекомендации по поиску). |